반도체 EUV 노광 포토 공정의 모든 것, TSMC, ASML, 니콘, 캐논프리씨전

🧐 EUV란 무엇일까?

EUV는 'Extreme Ultraviolet'의 약자로, 극자외선 리소그래피 기술을 말합니다. 반도체 EUV 기술은 극도로 짧은 파장의 빛을 사용해 더 작고 정교한 반도체 회로를 그릴 수 있게 해주는 최첨단 기술이에요. 기존의 ArF 리소그래피 기술이 193nm 파장의 빛을 사용했다면, EUV는 13.5nm 파장의 빛을 사용해요. 이렇게 짧은 파장 덕분에 훨씬 더 미세한 회로 패턴을 만들 수 있답니다.

💡 반도체 EUV의 장점

1. 초미세 공정 가능: 7nm, 5nm, 심지어 3nm 공정까지 가능해져요.
2. 높은 집적도: 더 작은 공간에 더 많은 트랜지스터를 넣을 수 있어요.
3. 전력 효율성: 더 작은 칩으로 같은 성능을 내니 전력 소모가 줄어들죠.
4. 생산성 향상: 복잡한 다중 패터닝 과정을 줄일 수 있어 생산 효율이 높아져요.

🏭 EUV 장비 시장 현황

현재 EUV 장비 시장은 네덜란드의 ASML이 독점하고 있어요. ASML의 EUV 장비는 한 대에 무려 3천억 원이 넘는 고가의 장비랍니다. 삼성전자와 SK하이닉스도 이 장비를 도입해 사용 중이에요. 최근 news에 따르면, 삼성전자가 ASML의 차세대 EUV 장비인 'High-NA EUV'를 세계 최초로 도입할 예정이라고 해요. 이 장비는 기존 EUV보다 더 정밀한 회로를 그릴 수 있대요.

 

🌏 글로벌 반도체 기업들의 EUV 도입 현황

1. 삼성전자: 7nm, 5nm 공정에 EUV 적용 중. 3nm GAA 공정 개발 완료.
2. TSMC: 5nm 공정 양산 중. 3nm 공정 개발 중.
3. 인텔: 7nm 공정부터 EUV 도입 예정.
4. 캐논: 고성능 EUV 장비 개발에 박차를 가하고 있어요.
5. 니콘: EUV 리소그래피 장비 시장에 진출하며 기술력을 키우고 있어요.
6. SK하이닉스: 2024년부터 EUV 공정을 DRAM 제조에 도입하여 경쟁력을 강화하고 있어요.

EUV 펠리클 _ 디알텍

🚀 반도체 EUV 기술의 미래

EUV 기술은 계속 발전하고 있어요. 현재의 0.33 NA(개구수) EUV에서 0.55 NA의 High-NA EUV로 발전하고 있죠. 이를 통해 2nm, 심지어 1nm 공정까지 가능해질 거라고 해요. 하지만 과제도 있어요. EUV 장비의 높은 가격, 전력 소모, 생산성 등의 문제를 해결해야 해요. 또한, EUV 펠리클(pellicle) 기술 개발도 중요한 과제랍니다.

 

 

💼 반도체 EUV 기술이 산업에 미치는 영향

EUV 기술은 단순히 반도체 산업에만 영향을 미치는 게 아니에요. 인공지능, 자율주행, 5G 통신 등 첨단 기술 발전에 큰 영향을 미치고 있어요. 더 작고 빠른 칩이 가능해지면서 새로운 기술 혁신의 기반이 되고 있죠.

 

🇰🇷 한국의 반도체 EUV 기술 현황

한국은 삼성전자와 SK하이닉스를 중심으로 EUV 기술 도입에 적극적이에요. 삼성전자는 이미 EUV를 이용한 7nm, 5nm 공정을 양산 중이고, 3nm GAA 공정도 개발 완료했대요. 정부도 반도체 EUV 기술 개발을 위해 지원을 아끼지 않고 있어요. 최근에는 EUV 노광 장비 국산화를 위한 연구개발 프로젝트도 시작했대요.

🤔 반도체 EUV 기술의 과제

EUV 기술이 혁명적이긴 하지만, 아직 해결해야 할 문제들이 있어요:

1. 높은 비용: EUV 장비가 너무 비싸요. 중소기업은 엄두도 못 내죠.
2. 전력 소모: EUV 장비는 전력을 많이 먹어요. 친환경 시대에 걸맞지 않죠.
3. 생산성: 아직 EUV의 생산성이 기존 기술에 비해 떨어져요.
4. 기술 종속: ASML에 대한 의존도가 너무 높아요. 대안이 필요해요.

📊 반도체 EUV 시장 전망

반도체 EUV 시장은 앞으로도 크게 성장할 전망이에요. 시장조사기관 IHS마킷에 따르면, EUV 노광 장비 시장 규모는 2025년까지 연평균 28% 성장할 거래요. 특히 5nm 이하 초미세 공정 수요가 늘면서 EUV 수요도 함께 늘어날 거예요. 인공지능, 자율주행차, 사물인터넷 등 첨단 기술 발전이 EUV 수요를 더욱 끌어올릴 거라고 해요.

🏁 반도체 EUV 공정은요 ? 

반도체 EUV 기술은 정말 흥미진진한 분야예요. 우리 일상생활에서 사용하는 스마트폰, 컴퓨터가 더 빨라지고 똑똑해지는 건 모두 이 기술 덕분이라고 해도 과언이 아니에요. 앞으로 반도체 EUV 기술이 어떻게 발전할지, 그리고 우리 생활을 어떻게 바꿔놓을지 정말 기대되네요. 여러분은 어떻게 생각하세요? 댓글로 여러분의 생각을 들려주세요!